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  • 发布时间:2018-03-16 17:20
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类型 Y轴直线电机 X轴直线电机 Z轴直线电机
有效行程 450mm 650mm 150mm
最高速度 0.8m/s 0.8m/s 0.5m/s
最大加速度 10m/s^2 10m/s^2 3m/s^2
重鶝(fu)定韪(wei)精度 ±1um ±1um ±2um
光栅尺分辨澛(lu) 0.5um 0.5um 1um

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